国相关顶尖企业。

大风集团通过自己的技术和市场换取了相应的合作，或是纯制造，或是技术支持，为光刻机项目提供了有力的场外援助。

一旦光刻机项目成功拉动了国内相关的技术水平，之后就能更进一步的去发展第四次工业革命相关的技术了，所以以下一代光刻机作为杭城信息物理国家实验室的核心启动项目，具备着各项合适的因素。

而在修改后的草案中，主要是明确一下权利义务以及国家科研机构所扮演的角色，比如华科院这边会大力支持这个项目，但是来的团队算大风集团员工么？他们的工资怎么算，职责怎么算？

最后采取的是项目制，杭城信息物理国家实验室出项目，然后拿着项目去国家科研机构邀约团队，最后根据项目出团队，确定的团队华科院会发一笔工资，国家实验室这边会发一笔工资，但人还是属于华科院的。

然后就是保密工作，毕竟是国家实验室，对保密工作的要求是极高的，尤其大风集团还是家私企，还要跟外企合作，对于保密工作的要求就更高了，某种程度上也是一种限制，但是没办法，孟谦也能理解。

至于国家实验室的技术产出，作为商业产品，产品的商业利润属于大风集团，但项目技术自然是归大风集团和国家共有的。

很认真的看完了草案，孟谦没有什么太大的意见，基本上是认同的，毕竟孟谦本并没有什么叛国之心。

方案这边没问题，路院长开始给孟谦介绍今天带来的几个人，“这三位分别是胡嵩，贺晓东，罗显刚，来自我们华科院的光电所”

孟谦并不知道的是，这几位就是在曾经一世负责超分辨光刻装备项目的核心技术人才，超分辨光刻机装备是由华科院光电所团队耗时7年完成，在国外技术和材料垄断的前提下实现的全自助研发光刻设备。

这一设备突破了高均匀性照明，超分辨光刻机镜头，纳米级分辨力检焦以及间隙测量和超精密多自由度工作台等关键技术，是全球分辨力最高的紫外光超分辨光刻设备，单次曝光最高线宽分辨力达到22纳米。

超分辨光刻装备项目成功打破了国外在高端光刻装备领域的垄断，为纳米光学加工提供了全新的解决途径。

之后又介绍了介绍的几人来自华科院电工所，孟谦同样不知道的是，他们就是成功研制了高速原子力显微镜的人，由电工所自主研发的高速原子力显微镜扫描行频达70赫兹，扫描范围可达5070微米。

至于长光所这边都是老熟人了，很多都是之前来帮忙研发过光刻机的老朋友。

孟谦跟几位顶尖科学家一一握手并表达了敬意，他们都将进入光刻机项目，为下一代光刻机的研发提供助力。

“对

为优化阅读体验，本站内容均采用分页显示，请点击下一页继续阅读！ 第2页 / 共3页